激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。
LASER是Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的縮寫，意為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大，即激光。
大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖 (He-Ne) 激光管，這些激光管具有633納米 (nm) 的波長輸出。
