兼有光電測(cè)距、電子測(cè)角和測(cè)量數(shù)據(jù)記錄的大地測(cè)量?jī)x器稱為“全站儀”(TotalStation)，亦稱為電子速測(cè)儀(ElectronicTachymeter、ElectronicTacheometer)或電子視距儀(Electronicstadiainstrument)。第一代全站儀問世于20世紀(jì)70年代，以前西德OPTON廠的RegEltal4和前瑞典AGA廠的Geodimeter 700為典型代表。最初的儀器體積大、重量重、能耗高，在野外作業(yè)中使用不夠機(jī)動(dòng)靈活。但它們的出現(xiàn)，展示了一種高效的三維坐標(biāo)測(cè)量方法，是大地測(cè)量?jī)x器史上具有劃時(shí)代意義的革命。之后，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，特別是微處理器應(yīng)用到全站儀上，使其能夠?qū)x器的系統(tǒng)誤差進(jìn)行修正；對(duì)其測(cè)量過程進(jìn)行操作和監(jiān)控；對(duì)大量測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行存貯和管理；與計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)雙向通信；在一些內(nèi)存容量大的儀器上，甚至將各種測(cè)量程序裝載到儀器中，使其能夠完成特殊的測(cè)量和放樣工作。今天的全站儀是現(xiàn)代化測(cè)量和信息化測(cè)量工作最有力的助手
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